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Tunable sensitivity of zirconium oxynitride thin-film temperature sensor modulated by film thickness

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作者
Yanjie Li,Minmin You,Xiuyan Li,Bin Yang,Zude Lin,Jingquan Liu
出处
期刊：Journal of Materials Science: Materials in Electronics [Springer Nature]
日期：2022-08-27 卷期号：33 (26): 20940-20952 被引量：6
标识
DOI：10.1007/s10854-022-08900-8
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