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标题
Environment friendly chemical mechanical polishing of copper
铜的环保型化学机械抛光
相关领域
抛光 化学机械平面化 泥浆 材料科学 化学工程 表面粗糙度 过氧化氢 X射线光电子能谱 无机化学 化学 复合材料 冶金 有机化学 工程类
网址
DOI
10.1016/j.apsusc.2018.10.133 doi
其它 期刊:Applied Surface Science
作者:Zhenyu Zhang; Junfeng Cui; Jiabo Zhang; Dongdong Liu; Zhenxin Yu; et al
出版日期:2019-02-01
求助人
Lwxbb 在 2024-11-19 10:31:03 发布自吉林,悬赏 10 积分
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