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书籍（章节） Atomic Layer Deposition and Atomic Layer Etching—An Overview of Selective Processes
原子层沉积和原子层蚀刻-选择性工艺概述
相关领域
原子层沉积 蚀刻（微加工） 原子层外延 图层（电子） 材料科学 纳米技术 沉积（地质） 纳米电子学 纳米光子学 逐层 光电子学 地质学 古生物学 沉积物
网址
https://doi.org/10.1007/978-3-030-65261-6_20
DOI
10.1007/978-3-030-65261-6_20 doi
其它 期刊：˜The œminerals, metals & materials series
作者：Samiha Hossain; O. H. Gokce; Nuggehalli M. Ravindra
出版日期：2021-01-01
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含糊的雨安 在 2025-02-24 09:49:17 发布自上海，悬赏 30 积分
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