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 Position-Dependent Motion Feedforward via Gaussian Processes: Applied to Snap and Force Ripple in Semiconductor Equipment 通过高斯过程的位置相关运动前馈：应用于半导体设备中的卡扣和力纹波
相关领域
涟漪
前馈
职位（财务）
半导体
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期刊：IEEE Transactions on Control Systems Technology 作者：Maurice Poot; Max van Haren; Dragan Kostić; Jim Portegies; Tom Oomen 出版日期：2024-01-01 |
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