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 Microstructure of hydrogenated silicon carbide thin films prepared by chemical vapour deposition techniques 化学气相沉积法制备氢化碳化硅薄膜的微观结构
相关领域
材料科学
化学气相沉积
无定形固体
微观结构
分析化学（期刊）
化学计量学
红外光谱学
薄膜
氢
碳化硅
复合材料
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纳米技术
化学
物理化学
有机化学
色谱法
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期刊：Journal of Non-Crystalline Solids 作者：Florian Köhler; Tao Chen; Maurice Nuys; Anna Heidt; M. Luysberg; et al 出版日期：2012-01-05 |
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