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[高分] Study on the thermal decomposition reaction process and kinetics of SF6 and tungsten
SF6与钨的热分解反应过程及动力学研究
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DOI
10.1051/e3sconf/202337503002 doi
其它 期刊:E3S Web of Conferences
作者:Mengyuan Xu; Houhua Lv; Yunfang Liu; Yang Ren; Yanhua Han; et al
出版日期:2023-01-01
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