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 Structural, optical, and electrical properties of TiO2 thin films deposited by ALD: Impact of the substrate, the deposited thickness and the deposition temperature ALD沉积TiO2薄膜的结构、光学和电学性能：衬底、沉积厚度和沉积温度的影响
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期刊：Applied Surface Science 作者：Aline Jolivet; Christophe Labbé; Cédric Frilay; Olivier Debieu; P. Marié; et al 出版日期：2022-10-09 |
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