Optimization of surface filtration to enhance wafer uniformity by removing large particle in ceria slurry

已完结

文献求助详情

标题	Optimization of surface filtration to enhance wafer uniformity by removing large particle in ceria slurry 通过去除二氧化铈浆料中的大颗粒来提高晶片均匀性的表面过滤优化相关领域材料科学泥浆过滤（数学）薄脆饼粒子（生态学）曲面（拓扑）粒径工艺工程化学工程复合材料纳米技术统计海洋学数学几何学地质学工程类
网址	http://dx.doi.org/10.1016/j.mssp.2024.108740
DOI	10.1016/j.mssp.2024.108740 doi
求助人	hi111 在 2024-12-18 19:35:24 发布自上海，悬赏 10 积分
下载	求助已完成，仅限求助人下载。
	温馨提示：该文献已被科研通学术中心收录，前往查看科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。

上个求助

下个求助

该求助已完结，感谢关注

如需该文献，请重新发布求助，前往发布

学术共进，科研互通

请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

2024年影响因子查询已上线 (2024-6-20)

更新

大幅提高文件上传限制，最高150M (2024-4-1)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: VDC的应助被Wency采纳，获得30

刚刚; 陶醉的蜜蜂发布了新的文献求助10

刚刚; 科研通AI2S上传了应助文件

4秒前; 陶醉的钢笔完成签到，获得积分10

4秒前; 陈皮完成签到，获得积分10

4秒前; 称心曼安完成签到，获得积分10

5秒前; 88完成签到，获得积分10

6秒前; 可爱的函函上传了应助文件

8秒前; 传奇3上传了应助文件

8秒前; miles发布了新的文献求助10

11秒前; 方赫然的应助被星期八采纳，获得10

11秒前; 十三月的过客完成签到，获得积分10

12秒前; 爱笑鸡翅完成签到，获得积分10

13秒前; 爱看文献的乐乐发布了新的文献求助10

13秒前; 称心曼安发布了新的文献求助10

14秒前; 昊阳发布了新的文献求助10

15秒前; 希望天下0贩的0的应助被专注土豆采纳，获得10

17秒前; lllwww完成签到，获得积分10

18秒前; 学术完成签到，获得积分10

18秒前; 玖月完成签到，获得积分10

19秒前; Jasper上传了应助文件

21秒前; 科研通AI2S上传了应助文件

23秒前; 小喵完成签到，获得积分10

23秒前; bkagyin的应助被忧虑的羊采纳，获得10

25秒前; blackmaria发布了新的文献求助10

25秒前; 铭铭铭发布了新的文献求助10

25秒前; 斯文败类的应助被称心曼安采纳，获得10

25秒前; 晓风完成签到，获得积分10

26秒前; SciGPT的应助被Li_华采纳，获得10

31秒前; 梅卡完成签到，获得积分10

32秒前; bkagyin上传了应助文件

35秒前; 忧虑的羊发布了新的文献求助10

40秒前; 科研通AI2S上传了应助文件

41秒前; SciGPT上传了应助文件

42秒前; 程住气完成签到，获得积分10

46秒前; Li_华发布了新的文献求助10

46秒前; 疯狂的绝山发布了新的文献求助10

47秒前; 重景完成签到，获得积分10

51秒前; 吕lvlvlvlvlv完成签到，获得积分10

52秒前; 龙骑士25完成签到，获得积分10

54秒前