Silicon MEMS components: a fatigue life assessment approach

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标题	Silicon MEMS components: a fatigue life assessment approach 硅MEMS元件的疲劳寿命评估方法相关领域耐久性硅材料科学微电子机械系统疲劳试验结构工程疲劳极限断裂（地质）可靠性工程复合材料工程类纳米技术冶金
网址	https://doi.org/10.1007/s00542-004-0472-6
DOI	10.1007/s00542-004-0472-6 doi
其它	期刊：Microsystem Technologies 作者：A. Varvani‐Farahani 出版日期：2005-02-01
求助人	26岁顶级保安在 2024-08-28 14:43:30 发布自天津，悬赏 10 积分
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