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 Effect of the base pressure achieved prior deposition on the main properties of ZnO:Al films obtained by DC magnetron sputtering at room temperature for electrical contact use 预沉积基底压力对室温直流磁控溅射电接触用ZnO：Al薄膜主要性能的影响
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期刊：Journal of vacuum science & technology. A. Vacuum, surfaces, and films 作者：J.A. García-Valenzuela; J. Andreu; J. Bertomeu 出版日期：2017-01-26 |
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