Atomic Layer Deposition of SiO2 for the Performance Enhancement of Fin Field Effect Transistors

已完结

文献求助详情

标题	Atomic Layer Deposition of SiO2 for the Performance Enhancement of Fin Field Effect Transistors 原子层沉积SiO2提高鳍状场效应晶体管性能相关领域原子层沉积材料科学沉积（地质）硅烷场效应晶体管光电子学纳米技术图层（电子）晶体管鳍硅复合材料电气工程古生物学工程类电压沉积物生物
网址	https://doi.org/10.7567/jjap.52.116503
DOI	10.7567/jjap.52.116503 doi
其它	期刊：Japanese Journal of Applied Physics 作者：Kazuhiko Endo; Yuki Ishikawa; Takashi Matsukawa; Yongxun Liu; Shinya Matsufuji; et al 出版日期：2013-10-25
求助人	落寞松鼠在 2024-07-24 14:05:51 发布自山东，悬赏 10 积分
下载	该求助完结已超 24 小时，文件已从服务器自动删除，无法下载。
	温馨提示：该文献已被科研通学术中心收录，前往查看科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。

上个求助

该求助已完结，感谢关注

如需该文献，请重新发布求助，前往发布

科研通，让科研之路畅通无阻

请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

2024年影响因子查询已上线 (2024-6-20)

更新

大幅提高文件上传限制，最高150M (2024-4-1)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: 英姑上传了应助文件

刚刚; 共享精神的应助被机智的思山采纳，获得10

1秒前; 勤奋梨愁完成签到，获得积分10

1秒前; 踏实柚子完成签到，获得积分10

2秒前; 88C真是太神奇啦完成签到，获得积分10

2秒前; waikeyan完成签到，获得积分10

3秒前; 丘比特上传了应助文件

3秒前; 冰巧完成签到，获得积分10

3秒前; 梵星星发布了新的文献求助10

3秒前; 俊逸湘关闭了俊逸湘的文献求助

4秒前; Ann完成签到，获得积分10

5秒前; hhvvvvv发布了新的文献求助30

5秒前; 激昂的君浩完成签到，获得积分20

5秒前; NexusExplorer的应助被wgy采纳，获得10

5秒前; hustscholar完成签到，获得积分10

5秒前; senhe完成签到，获得积分10

6秒前; 好好好发布了新的文献求助10

6秒前; 自由涔雨完成签到，获得积分10

8秒前; 早发论文上传了应助文件

9秒前; fy发布了新的文献求助10

10秒前; lanshuitai发布了新的文献求助10

10秒前; 852上传了应助文件

10秒前; 科目三上传了应助文件

10秒前; Akim上传了应助文件

11秒前; 科研通AI2S上传了应助文件

11秒前; 共享精神上传了应助文件

11秒前; 108实验室完成签到，获得积分10

11秒前; 爆米花上传了应助文件

12秒前; Someone上传了应助文件

12秒前; 英俊的铭的应助被白华苍松采纳，获得10

12秒前; 好好好完成签到，获得积分10

13秒前; 白白SAMA123完成签到，获得积分10

13秒前; 祥子的骆驼完成签到，获得积分10

13秒前; 完美世界上传了应助文件

13秒前; xywang发布了新的文献求助30

14秒前; dcyuang发布了新的文献求助10

14秒前; 刘荣圣发布了新的文献求助10

15秒前; 汉堡包的应助被weige采纳，获得10

15秒前; xuanqing发布了新的文献求助10

15秒前; 可爱的函函的应助被hhvvvvv采纳，获得10

16秒前