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 Time-resolved measurements of highly polymerized negative ions in radio frequency silane plasma deposition experiments 射频硅烷等离子体沉积实验中高聚合负离子的时间分辨测量
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期刊：Journal of Applied Physics 作者：A.A. Howling; L. Sansonnens; J.‐L. Dorier; Ch. Hollenstein 出版日期：1994-02-01 |
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