Progress in the Sputtering Preparation of Hf0.5Zr0.5O2 Ferroelectric Films and Memories - 科研通

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标题	Progress in the Sputtering Preparation of Hf0.5Zr0.5O2 Ferroelectric Films and Memories 溅射制备Hf0.5Zr 0.5 O2铁电薄膜及存储器的研究进展相关领域铁电性材料科学溅射矫顽力溅射沉积极化（电化学）薄膜光电子学纳米技术工程物理电介质凝聚态物理化学物理物理化学工程类
网址	https://doi.org/10.1002/admi.202400367
DOI	10.1002/admi.202400367 doi
其它	期刊：Advanced Materials Interfaces 作者：Kun Chen; Dan Zheng; Jie Gao; Hao Wang; Baoyuan Wang 出版日期：2024-11-20
求助人	minifox 在 2025-03-06 11:09:55 发布自天津，悬赏 10 积分
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