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 Viability of HFO-1234ze(E) (trans-1,3,3,3-tetrafluoropropene) as a low global warming potential silicon dioxide etch gas HFO-1234ze（E）（反式-1，3，3，3-四氟丙烯）作为低全球升温潜能值二氧化硅蚀刻气体的可行性
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期刊：Journal of vacuum science and technology 作者：Aaron Windsor; Jeremy Clark; George McMurdy; Eric Joseph; Robert G. Syvret; et al 出版日期：2025-02-07 |
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