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![]() CF4等离子体处理对低温铟镓锡氧化物薄膜晶体管性能、栅极偏置稳定性和缺陷特性的影响
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期刊:Materials Science in Semiconductor Processing 作者:Dongbhin Kim; Kyeong‐Bae Lee; Junho Noh; DongHyun Kim; Hyunsoo Park; et al 出版日期:2025-02-13 |
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