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标题
Silicon nitride cover layer prepared by silane-free plasma chemical vapor deposition for high quality surface passivation of silicon solar cells
用于硅太阳电池高质量表面钝化的无硅等离子体化学气相沉积氮化硅覆盖层
相关领域
钝化 材料科学 薄脆饼 氮化硅 硅烷 等离子体增强化学气相沉积 载流子寿命 化学气相沉积 太阳能电池 硅 光电子学 悬空债券 图层（电子） 分析化学（期刊） 纳米技术 复合材料 化学 色谱法
网址
https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2018.04.092
DOI
10.1016/j.surfcoat.2018.04.092 doi
其它 期刊：Surface and Coatings Technology
作者：Hsin-Yu Wu; Chia‐Hsun Hsu; Ting-Xuan Liu; Yu‐Chih Ou; Yu-Hsuan Hsu; et al
出版日期：2018-06-30
求助人
好学的X 在 2025-01-22 13:28:51 发布自浙江，悬赏 10 积分
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