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 Characterisation of aluminium nitride films and surface acoustic wave devices for microfluidic applications 用于微流体应用的氮化铝薄膜和表面声波器件的表征
相关领域
材料科学
声表面波
氮化铝
氮化物
氮化硅
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光电子学
铝
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物理
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期刊：Sensors and Actuators B Chemical 作者：Jinrun Zhou; M. DeMiguel-Ramos; Luis Garcia‐Gancedo; E. Iborra; J. Olivares; et al 出版日期：2014-06-02 |
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