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![]() 射频诱导衬底偏压反应磁控溅射制备超高反射率光学薄膜
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期刊:Review of Scientific Instruments 作者:Tung-Hsun Chung; Xiao-Lu Zou; Qi-Hang Zhang; Meng Wang; X.L. Zhu; et al 出版日期:2024-04-01 |
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