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标题
Cost-effective fabrication of RF AlGaN/GaN HEMTs on surface activated bonding-bonded SiC-SiC substrate
表面活化键合SiC-SiC衬底上射频AlGaN/GaN HEMTs的低成本制备
相关领域
材料科学 制作 宽禁带半导体 光电子学 基质（水族馆） 碳化硅 纳米技术 复合材料 医学 海洋学 替代医学 病理 地质学
网址
https://doi.org/10.1116/6.0004066
DOI
10.1116/6.0004066 doi
其它 期刊：Journal of Vacuum Science & Technology B Nanotechnology and Microelectronics Materials Processing Measurement and Phenomena
作者：Guanjun Jing; Xiangjie Xing; Dongguo Zhang; Fengwen Mu; Sen Huang; et al
出版日期：2025-01-01
求助人
conlensce 在 2025-02-08 11:40:03 发布自江苏，悬赏 10 积分
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