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标题
The sputtering performance of Ag sputtering targets with different microstructure
不同微结构银溅射靶材的溅射性能
相关领域
溅射 退火（玻璃） 微观结构 溅射沉积 材料科学 电阻率和电导率 复合材料 冶金 纳米技术 薄膜 电气工程 工程类
网址
https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2023.111888
DOI
10.1016/j.vacuum.2023.111888 doi
其它 期刊：Vacuum
作者：Zheda Ning; Yiqing Wang; Sixie Li; Ke Tang; Ming Wen
出版日期：2023-04-01
求助人
喷火龙 在 2024-11-25 02:14:35 发布自美国，悬赏 10 积分
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