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标题
Development of inertia driven micro robot with nano tilting stage for SEM operation
用于扫描电镜操作的具有纳米倾斜平台的惯性驱动微型机器人的研制
相关领域
惯性 纳米- 阶段(地层学) 机器人 纳米技术 材料科学 机械工程 工程类 计算机科学 物理 人工智能 复合材料 经典力学 地质学 古生物学
网址
DOI
10.1007/s00542-006-0360-3 doi
其它 期刊:Microsystem Technologies
作者:Yoshihiro Nomura; Hisayuki Aoyama
出版日期:2007-02-24
求助人
魏淑芬 在 2024-01-25 13:05:38 发布自河南,悬赏 10 积分
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