Single-crystalline-like indium tin oxide thin films prepared by plasma enhanced atomic layer deposition

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标题	Single-crystalline-like indium tin oxide thin films prepared by plasma enhanced atomic layer deposition 等离子体增强原子层沉积制备类单晶铟锡氧化物薄膜相关领域材料科学铟氧化铟锡图层（电子）原子层沉积锡等离子体电阻率和电导率氧化物金属薄膜沉积（地质）化学工程无机化学分析化学（期刊）纳米技术冶金化学环境化学电气工程物理工程类古生物学生物量子力学沉积物
网址	https://doi.org/10.1039/d2tc01834a
DOI	10.1039/d2tc01834a doi
其它	期刊：Journal of Materials Chemistry C 作者：Chia-Hsun Hsu; Zhi-Xuan Zhang; Chun-Yan Shi; Pao-Hsun Huang; Wan-Yu Wu; et al 出版日期：2022-01-01
求助人	李建杉在 2023-10-18 16:13:20 发布自福建，悬赏 10 积分
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