Production Planning and Control for Semiconductor Wafer Fabrication Facilities

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标题	[高分] 书籍 Production Planning and Control for Semiconductor Wafer Fabrication Facilities 半导体晶圆制造设施的生产计划和控制相关领域薄脆饼半导体器件制造晶圆制造半导体制造工程集成电路控制（管理）制作工程类生产（经济）半导体工业计算机科学电气工程医学人工智能经济替代医学病理宏观经济学
网址	https://doi.org/10.1007/978-1-4614-4472-5
DOI	10.1007/978-1-4614-4472-5 doi
其它	期刊：Operations research, computer science. Interface series 作者：Lars Mönch; John W. Fowler; Scott J. Mason 出版日期：2013-01-01
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