Modification of the Preston equation for the chemical–mechanical polishing of copper

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标题	Modification of the Preston equation for the chemical–mechanical polishing of copper 铜化学机械抛光Preston方程的修正相关领域泥浆化学机械平面化铜抛光化学反应速率常数苯并三唑分析化学（期刊）矿物学冶金材料科学复合材料动力学色谱法有机化学物理量子力学
网址	https://doi.org/10.1016/s0040-6090(98)00896-7
DOI	10.1016/s0040-6090(98)00896-7 doi
其它	期刊：Thin Solid Films 作者：Qiuliang Luo; S. Ramarajan; S. V. Babu 出版日期：1998-11-01
求助人	丁丁峥在 2024-09-22 11:23:52 发布自天津，悬赏 10 积分
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