Thick BaTiO3 Epitaxial Films Integrated on Si by RF Sputtering for Electro-Optic Modulators in Si Photonics

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标题	Thick BaTiO3 Epitaxial Films Integrated on Si by RF Sputtering for Electro-Optic Modulators in Si Photonics 硅光子学中电光调制器的射频溅射集成BaTiO3厚外延膜相关领域材料科学外延溅射光电子学无定形固体溅射沉积分子束外延光学极点图薄膜图层（电子）结晶学复合材料纳米技术物理化学
网址	https://doi.org/10.1021/acsami.1c14048
DOI	10.1021/acsami.1c14048 doi
其它	期刊：ACS applied materials & interfaces 作者：Agham Posadas; Hyoju Park; Marc Reynaud; Wei Cao; Jamie D. Reynolds; et al 出版日期：2021-10-20
求助人	清爽的靖柔在 2024-04-12 08:37:11 发布自黑龙江，悬赏 10 积分
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