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Influence of cooling rate on microstructure and defect evolution in GaAs during solidification
凝固过程中冷却速率对GaAs组织和缺陷演化的影响
相关领域
材料科学
微电子
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期刊:Modelling and Simulation in Materials Science and Engineering 作者:Siyuan Wang; Qian Chen; Yongkai Yuan; Tinghong Gao; Yongchao Liang; et al 出版日期:2023-11-06 |
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