The measurement of the refractive index n and k value of the EUV resist which used EUV reflectivity measurement method

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标题	The measurement of the refractive index n and k value of the EUV resist which used EUV reflectivity measurement method 采用极紫外反射率测量法测量极紫外抗蚀剂的折射率n和k值相关领域抵抗极紫外光刻光学折射率材料科学摩尔吸收率光刻胶波长极端紫外线光刻光电子学物理纳米技术激光器图层（电子）
网址	https://doi.org/10.1117/12.2644821
DOI	10.1117/12.2644821 doi
其它	期刊：作者：Atsushi Sekiguchi; Yosuke Ohta; Tetsuo Harada; Takeo Watanabe 出版日期：2022-09-23
求助人	Richard 在 2024-11-19 12:51:04 发布自上海，悬赏 20 积分
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