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 High-transmission EUV pellicles supporting >400W source power 支持400W以上电源功率的高透射EUV薄膜
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期刊： 作者：Mark van de Kerkhof; Alexander Klein; Paul Vermeulen; Ties van der Woord; İnci Dönmez; et al 出版日期：2022-05-26 |
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