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 Development of a dynamic gas lock inhibited model for EUV-induced carbon deposition EUV诱导碳沉积的动态气锁抑制模型的建立
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期刊：The Journal of Chemical Physics 作者：Ming Hao; Shuai Teng; Jiaxing Liu; Yuanhua Xie; Dechun Ba; et al 出版日期：2024-01-28 |
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