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 Dummy Gate Footing Problems in Scaling Down of FinFET Structures FinFET结构缩小中的虚拟栅极基脚问题
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期刊：Meeting abstracts/Meeting abstracts (Electrochemical Society. CD-ROM) 作者：Changcheng Jiang; Xingyu Xiao; Ke Xing; Yanliang Wang; Yuchen Li; et al 出版日期：2020-11-23 |
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