“Lollipop-shaped” high-sensitivity Microelectromechanical Systems vector hydrophone based on Parylene encapsulation

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标题	“Lollipop-shaped” high-sensitivity Microelectromechanical Systems vector hydrophone based on Parylene encapsulation 基于聚对二甲苯封装的“棒棒糖形”高灵敏度微机电系统矢量水听器相关领域水听器微电子机械系统声学材料科学灵敏度（控制系统）指向性帕利烯水下光电子学电子工程电气工程物理工程类复合材料地质学聚合物海洋学天线（收音机）
网址	https://doi.org/10.1063/1.4927333
DOI	10.1063/1.4927333 doi
其它	期刊：Journal of Applied Physics 作者：Yuan Liu; Renxin Wang; Guojun Zhang; Jinqiang Du; Liang Zhao; et al 出版日期：2015-07-22
求助人	乐正鑫在 2025-02-19 15:14:19 发布自湖北，悬赏 10 积分
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