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[求助补充材料] Fluorinated porous organic polymers for efficient recovery perfluorinated electronic specialty gas from exhaust gas of plasma etching
用于从等离子体蚀刻废气中高效回收全氟电子特种气体的氟化多孔有机聚合物
相关领域
聚合物
吸附
蚀刻(微加工)
化学工程
氟
等离子体刻蚀
废气
多孔性
多孔介质
化学
材料科学
纳米技术
有机化学
图层(电子)
工程类
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DOI | |
其它 |
期刊:Separation and Purification Technology 作者:Wenxiang Zhang; Yinhui Li; Yue Wu; Yu Fu; Shu‐Hui Chen; et al 出版日期:2022-04-01 |
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