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 Optimized design of block copolymers with covarying properties for nanolithography 纳米光刻用共变嵌段共聚物的优化设计
相关领域
纳米光刻
块（置换群论）
材料科学
纳米技术
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聚合物
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期刊：Nature Materials 作者：Hongbo Feng; Moshe Dolejsi; Ning Zhu; Soonmin Yim; Whitney S. Loo; et al 出版日期：2022-11-10 |
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