Study of effects of varying parameters on the dislocation density in 200 mm SiC bulk growth

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标题	Study of effects of varying parameters on the dislocation density in 200 mm SiC bulk growth 200 mm SiC块体生长中位错密度变化参数的研究相关领域位错材料科学 Crystal（编程语言）晶体生长压力（语言学）有限元法凝聚态物理结晶学热力学复合材料化学物理计算机科学语言学哲学程序设计语言
网址	https://doi.org/10.1016/j.jcrysgro.2023.127526
DOI	10.1016/j.jcrysgro.2023.127526 doi
其它	期刊：Journal of Crystal Growth 作者：Sheng'ou Lu; Binjie Xu; Hongyu Chen; Wei Hang; Rong Wang; et al 出版日期：2023-12-07
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