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 High-throughput optimization of near-infrared-transparent Mo-doped In2O3 thin films with high conductivity by combined use of atmospheric-pressure mist chemical-vapor deposition and sputtering 常压雾化学气相沉积和溅射相结合高导电性近红外透明Mo掺杂In2O3薄膜的高通量优化
相关领域
薄膜
掺杂剂
材料科学
溅射
化学气相沉积
兴奋剂
光电子学
分析化学（期刊）
透射率
化学
纳米技术
色谱法
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期刊：Thin Solid Films 作者：Naoomi Yamada; Masayoshi Yamada; Haruna Toyama; Ryuichiro Ino; Xiang Cao; et al 出版日期：2017-02-14 |
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