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![]() 用于正色调化学放大抗蚀剂的曝光后烘烤工艺的化学和物理方面
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期刊:IBM Journal of Research and Development 作者:William D. Hinsberg; Frances A. Houle; M. Sanchez; Gregory M. Wallraff 出版日期:2001-09-01 |
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