Effect of novel non-inhibitor slurry on chemical mechanical polishing properties of copper interconnect copper film based on experiments and theoretical calculations - 科研通

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标题	Effect of novel non-inhibitor slurry on chemical mechanical polishing properties of copper interconnect copper film based on experiments and theoretical calculations 基于实验和理论计算的新型非抑制剂浆料对铜互连铜膜化学机械抛光性能的影响相关领域铜化学机械平面化泥浆互连抛光材料科学化学工程复合材料冶金计算机科学工程类计算机网络
网址	https://doi.org/10.1016/j.colsurfa.2024.135457
DOI	10.1016/j.colsurfa.2024.135457 doi
其它	期刊：Colloids and Surfaces A Physicochemical and Engineering Aspects 作者：Chao He; Xinhuan Niu; Jianghao Liu; Ni Zhan; Yida Zou; et al 出版日期：2024-09-01
求助人	东东呀在 2025-03-06 15:42:48 发布自吉林，悬赏 10 积分
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