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Study on the impact of the resonant cavity and lateral acoustic edge reflector for AlSc0.095N-based S0 mode Lamb-wave resonators
AlSc0.095N基S0模兰姆波谐振器谐振腔和声边反射器影响的研究
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期刊:Microelectronics Journal 作者:Jicong Zhao; Zexin Sun; Dong Zhi; Yanmeng Dang; Shitao Lv; et al 出版日期:2024-03-01 |
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