Self-consistent integrated modeling of combined hybrid discharge-laser produced plasma devices for extreme ultraviolet metrology

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标题	Self-consistent integrated modeling of combined hybrid discharge-laser produced plasma devices for extreme ultraviolet metrology 用于极紫外测量的组合混合放电-激光等离子体器件的自洽集成建模相关领域极紫外光刻极端紫外线等离子体物理激光器光学计算物理学量子力学
网址	https://doi.org/10.1063/5.0147234
DOI	10.1063/5.0147234 doi
其它	期刊：Physics of Plasmas 作者：Valeryi Sizyuk; Ahmed Hassanein; F. Melsheimer; Larissa Juschkin; Tatyana Sizyuk 出版日期：2023-05-01
求助人	pickle 在 2024-07-26 12:25:40 发布自陕西，悬赏 10 积分
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