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 Modeling of very high frequency large-electrode capacitively coupled plasmas with a fully electromagnetic particle-in-cell code 甚高频大电极电容耦合等离子体的全电磁粒子模拟
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期刊：Plasma Sources Science and Technology 作者：Denis Eremin; Efe Kemaneci; Masaaki Matsukuma; Thomas Mussenbrock; Ralf Peter Brinkmann 出版日期：2023-04-01 |
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