标题 |
Pressure Enhancing and Operating Frequency Tunable Pmut with Compressible Parylene Helmholtz Resonanting Chamber and Active Backing Plate
具有可压缩聚对二甲苯亥姆霍兹共振室和有源背板的压力增强和工作频率可调Pmut
相关领域
PMUT公司
材料科学
声学
帕利烯
压电
亥姆霍兹谐振器
超声波传感器
谐振器
传感器
声压
亥姆霍兹自由能
光电子学
物理
复合材料
量子力学
聚合物
|
网址 | |
DOI | |
其它 |
期刊:2022 IEEE 35th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems Conference (MEMS) 作者:Chung-Hao Huang; Guo‐Hua Feng 出版日期:2022-01-09 |
求助人 | |
下载 | 该求助完结已超 24 小时,文件已从服务器自动删除,无法下载。 |
温馨提示:该文献已被科研通 学术中心 收录,前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库,收集文献的基本信息(如标题、摘要、期刊、作者、被引量等),不提供下载功能。如需下载文献全文,请通过文献求助获取。
|