Thermal Atomic Layer Etching of Molybdenum Using Sequential Oxidation and Deoxychlorination Reactions

已完结

文献求助详情

标题	Thermal Atomic Layer Etching of Molybdenum Using Sequential Oxidation and Deoxychlorination Reactions 顺序氧化脱氧氯化反应热原子层刻蚀钼相关领域钼蚀刻（微加工）图层（电子）热的材料科学热氧化化学工程纳米技术冶金热力学物理工程类
网址	https://doi.org/10.1021/acs.chemmater.3c02606
DOI	10.1021/acs.chemmater.3c02606 doi
其它	期刊：Chemistry of Materials 作者：Taewook Nam; Troy A. Colleran; Jonathan L. Partridge; Andrew S. Cavanagh; Steven M. George 出版日期：2024-01-29
求助人	积极的初南在 2025-01-01 16:20:50 发布自湖北，悬赏 10 积分
下载	该求助完结已超 24 小时，文件已从服务器自动删除，无法下载。
	温馨提示：该文献已被科研通学术中心收录，前往查看科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。

上个求助

下个求助

该求助已完结，感谢关注

如需该文献，请重新发布求助，前往发布

关注科研痛点，打通你的七经六脉

请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

2024年影响因子查询已上线 (2024-6-20)

更新

大幅提高文件上传限制，最高150M (2024-4-1)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: 希望天下0贩的0上传了应助文件

1秒前; 木子田心发布了新的文献求助10

1秒前; 充电宝上传了应助文件

2秒前; 小滨完成签到，获得积分10

3秒前; living笑白的应助被不辣的皮特采纳，获得30

3秒前; 离线完成签到，获得积分10

3秒前; 顺利茹妖发布了新的文献求助30

4秒前; 冷酷小鸭子发布了新的文献求助30

4秒前; Questa_Qin发布了新的文献求助30

5秒前; 茶叙汤言完成签到，获得积分10

5秒前; XPR完成签到，获得积分10

5秒前; 小美完成签到，获得积分10

6秒前; 鲤鱼鸽子上传了应助文件

6秒前; 传奇3的应助被xs采纳，获得10

6秒前; 杨雨亭完成签到，获得积分10

6秒前; willow完成签到，获得积分10

7秒前; peterlzb1234567发布了新的文献求助10

9秒前; ying完成签到，获得积分10

9秒前; zjh完成签到，获得积分10

10秒前; Aisha完成签到，获得积分10

12秒前; XPR发布了新的文献求助10

13秒前; Hello的应助被WY采纳，获得10

14秒前; 喜之郎完成签到，获得积分10

14秒前; hata233完成签到，获得积分10

15秒前; Ava上传了应助文件

15秒前; feilu的应助被科研通管家采纳，获得10

16秒前; 科研通AI2S的应助被科研通管家采纳，获得10

16秒前; 星辰大海的应助被科研通管家采纳，获得30

16秒前; 个性的紫菜的应助被科研通管家采纳，获得10

16秒前; 小二郎的应助被科研通管家采纳，获得10

16秒前; 李爱国的应助被科研通管家采纳，获得30

16秒前; 希望天下0贩的0上传了应助文件

16秒前; Akim的应助被科研通管家采纳，获得10

16秒前; 李健的粉丝团团长的应助被科研通管家采纳，获得10

17秒前; 小二郎的应助被科研通管家采纳，获得30

17秒前; 华仔的应助被科研通管家采纳，获得10

17秒前; 桐桐的应助被科研通管家采纳，获得10

17秒前; 英姑的应助被科研通管家采纳，获得10

17秒前; 可爱的函函的应助被科研通管家采纳，获得10

17秒前; 个性的紫菜的应助被科研通管家采纳，获得10

17秒前