Thickness Measurement Based on Eddy Current Sensor With Coaxial Double Coil for Chemical Mechanical Polishing

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标题	Thickness Measurement Based on Eddy Current Sensor With Coaxial Double Coil for Chemical Mechanical Polishing 基于同轴双线圈电涡流传感器的化学机械抛光厚度测量相关领域化学机械平面化材料科学抛光电磁线圈同轴灵敏度（控制系统）涡流计量系统涡流检测声学薄脆饼涡流传感器光学电子工程光电子学电气工程复合材料工程类物理天文
网址	http://dx.doi.org/10.1109/tim.2022.3204104
DOI	10.1109/tim.2022.3204104 doi
求助人	OU_JOE 在 2024-11-14 14:59:05 发布自江西，悬赏 10 积分
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