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 A comparative study of dry-etching nanophotonic devices on a LiNbO3-on-insulator material platform 绝缘体上LiNbO3干法刻蚀纳米光子器件的比较研究
相关领域
铌酸锂
材料科学
干法蚀刻
纳米光子学
蚀刻（微加工）
薄脆饼
光电子学
谐振器
光子集成电路
绝缘体（电）
反应离子刻蚀
表面粗糙度
光子学
纳米技术
复合材料
图层（电子）
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期刊： 作者：Chen Shen; Chengli Wang; Yifan Zhu; Jinbo Wu; Yang Chen; et al 出版日期：2021-02-28 |
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