Silicon surface texturing via TBAB-SDS composite additives enhanced copper-assisted chemical etching

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标题	Silicon surface texturing via TBAB-SDS composite additives enhanced copper-assisted chemical etching TBAB-SDS复合添加剂增强铜辅助化学腐蚀的硅表面织构相关领域蚀刻（微加工）铜复合数各向同性腐蚀化学工程材料科学硅化学纳米技术复合材料冶金图层（电子）工程类
网址	http://dx.doi.org/10.1016/j.solmat.2024.113185
DOI	10.1016/j.solmat.2024.113185 doi
求助人	小白在 2024-10-12 17:59:32 发布自陕西，悬赏 10 积分
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