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 Micro Capacitive Tactile Sensor for Contact Loads 用于接触负载的微型电容触觉传感器
相关领域
深反应离子刻蚀
电容感应
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材料科学
电容
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期刊：Advanced materials research 作者：Chieh Tang Chuang; Rong Shun Chen 出版日期：2008-03-01 |
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