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Preparation of Sn-Doped Ga2O3 Thin Films and MSM Ultraviolet Detectors Using Magnetron Co-Sputtering
磁控共溅射制备掺Sn Ga2O3薄膜及MSM紫外探测器
相关领域
紫外线
材料科学
兴奋剂
溅射沉积
光电子学
薄膜
探测器
腔磁控管
溅射
光学
纳米技术
物理
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期刊:Materials 作者:Yantao Liu; Rong Huang; Tao Lin; Jiale Dang; Haoxiang Huang; et al 出版日期:2024-07-01 |
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