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标题
Machine Learning Based SEM Image Analysis for Automatic Detection and Classification of Wafer Defects
基于机器学习的SEM图像分析用于晶圆缺陷自动检测和分类
相关领域
薄脆饼 计算机科学 人工智能 上下文图像分类 计算机视觉 模式识别（心理学） 图像（数学） 材料科学 光电子学
网址
https://doi.org/10.1109/asmc61125.2024.10545512
DOI
10.1109/asmc61125.2024.10545512 doi
其它 期刊：
作者：Sanghyun Choi; Qian Xie; Nathan G. Greeneltch; Hyung Joo Lee; Mohan Govindaraj; et al
出版日期：2024-05-13
求助人
shdgwyh 在 2024-11-26 09:33:52 发布自北京，悬赏 10 积分
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