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标题
Advanced development techniques for metal-based EUV resists
金属基EUV抗蚀剂的先进开发技术
相关领域
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网址
https://doi.org/10.1117/12.2258126
DOI
10.1117/12.2258126 doi
其它 期刊：Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering/Proceedings of SPIE
作者：Jodi Hotalen; Michael Murphy; William Earley; Michaela Vockenhuber; Yasin Ekinci; et al
出版日期：2017-03-31
求助人
zahi 在 2025-01-14 17:01:03 发布自江苏，悬赏 20 积分
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