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Stress, structural and electrical properties of Si-doped GaN film grown by MOCVD
MOCVD法生长掺硅GaN薄膜的应力、结构和电学性能
相关领域
金属有机气相外延
材料科学
兴奋剂
光电子学
压力(语言学)
工程物理
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期刊:Journal of Semiconductors 作者:Zhihao Xu; Jincheng Zhang; Duan Huantao; Zhang Zhongfen; Zhu Qing-Wei; et al 出版日期:2009-12-01 |
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